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TFT LCD、LED厂设备 低溢出气体
机械用的密封件 帮浦 阀件 干制程:化学气相沉绩、蚀刻(ETCH)
接头 搅拌器 管件 设备:TEL、ULVAC、AKT
静态或有限的动力学(O形环) 湿制程设备:显影、蚀刻、清洗设备、DNS、DMS、Shibarura、Manz、SPP。
相当低的压力(O形环)
宽广的温度范围
耐化学的能力、扩散(Diffusin)设备